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SD403-II多組分動態(tài)配氣系統(tǒng)采用動態(tài)配氣法配置所需氣體的濃度,其核心部件采用高精度質量流量控制器進行氣體流量精準控制,并配備觸摸屏軟件來實現流程化自動配氣。設備支持三路氣體輸入、一路氣體輸出,用戶可切換流量模式或濃度模式。
多組分動態(tài)配氣系統(tǒng)采用動態(tài)配氣法配置所需氣體的濃度,其核心部件采用高精度質量流量控制器進行氣體流量精準控制,并配備觸摸屏軟件來實現流程化自動配氣。設備支持三路氣體輸入、一路氣體輸出,用戶可切換流量模式或濃度模式。
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